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重点实验室

超高真空磁控与粒子束联合溅射设备

发布时间:2019-11-25浏览次数:10来源:乐虎体育学院

仪器名称:超高真空磁控与粒子束联合溅射设备

固资编号: 12005715

制造厂商

中国科学院沈阳科学

仪器股份有限企业

型号

FJL560

管理人员

李老师

联系电话

18846129184

主要功能

镀膜

性能指标

1.系统极限真空:磁控溅射室:系统经烘烤后连续抽气,可达4.0x10-5Pa

离子束溅射室经烘烤后连续抽气,可达6.6x10-5Pa

2.系统真空捡漏率:≤5.0x10-7Pa/s3.系统漏率:停泵关机12h后,真空度≤9Pa

测试样品要求

保证样品表面清洁

放置地点

一校区明德楼A701

平台内收费标准

镀膜200/

校内用户收费标准

镀膜300/

校外用户收费标准

镀膜400/



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